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不鏽鋼無塵潔淨烘箱

ENOHK品牌潔淨烘箱(無塵烘箱)-EHC係列采用獨特的內外艙分體結構結合內循環風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自淨化過濾,從而形成高潔淨、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環境。產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

詳細介紹

產品簡介:

ENOHK品牌潔淨烘箱(無塵烘箱)-EHC係列采用獨特的內外艙分體結構結合內循環風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自淨化過濾,從而形成高潔淨、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環境。產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

產品特點:

●內膽:采用日製400番2mm厚SUS304#鏡麵不鏽鋼板材,經堿性蘇打水清潔,去油汙避免烘烤時產生 PARTICLE

●外殼:采用1.5mm厚 SUS304#不鏽鋼,表麵拉絲處理(SS41#鋼板經酸洗磷化等防鏽處理後噴塑可選)

●保溫層:采用正廠一級100K級高密度超淨玻璃纖維材料保溫板,厚度80mm

●過濾器:進口耐高溫無邊框超高效過濾器H.E.P.A,》0.1μm顆粒過濾效率99.999%

●壓差計:進口壓差計,監控H.E.P.A工作狀態。

●溫控器:采用日本歐姆龍液晶數字型PID溫度控製器,控溫精度±0.5% 

●溫度傳感器:日製進口CA感應棒±0.5%,精度高,誤差小

●鼓風裝置:采用大功率耐高溫長軸減震靜音馬達,大口徑不鏽鋼渦輪扇葉,可在高溫環境下長期穩定工作

●電熱發生器:覆套式無塵化電熱發生器

●風門調節:進口伺服電機自動風門裝置,自動控製風門開關,確保烘烤前後箱內密閉

●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁鉸鏈門扣,易開易關。

●密封膠條:采用改性無氟矽橡膠材質,耐高溫,不易老化,密封性極佳

●支撐腳輪:配置4隻高承重萬象活動輪,前輪帶刹車,方便移動,同時配置4隻水平調整腳杯

選配組件:

1.程序控溫:可配置程序型溫度控製器,最大實現99段*99組程序控溫。

2.測試孔:可在側麵加裝Φ35mm測試孔

3.電磁鎖:安全門控電磁鎖,確保烘烤過程箱門密閉,內部環境不被破壞。

4.多點溫度記錄:可配置多點溫度記錄儀,打印機或RS485接口,連接打印機或PC設備,監控記錄溫度狀況。

5.三色指示燈:工作狀態指示燈,待機,運行,故障閃燈光警示。

6.其它非標訂製:可根據客戶實際需求提供產品訂製

EHC係列無塵潔淨烘箱規格一覽表: 

型號

EHC-180

EHC-270

EHC-480

EHC-980

溫度範圍

RT(常溫)+10~200/ (可訂製250℃)

溫度分辨率

±0.1

溫度波動度

±0.5

溫度偏差

±1.0

溫度均勻性

150±3          200±5

容積

180L

270L

480L

980L

內部尺寸

(W×D×H)mm

600×500×600

600×500×900

800×600×1000

1400×700×1000

外部尺寸

(W×D×H)mm

980×1240×1510

980×1240×1810

1180×1340×1910

1950×1055×1790

層板

2pcs

2pcs

3pcs

3pcs

電源電壓

AC 380V 50HZ

加熱功率

6KW

10KW

14W

17KW

潔淨等級

Class10~100

Class10~100

Class10~100

 Class10~100

   備注:所有機型外觀尺寸僅供參考,實際尺寸以實物為準


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